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半導(dǎo)體芯片氣動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械手設(shè)計(jì)

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更新時(shí)間：2014-05-25
發(fā) 布人： kongbei

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摘要

本文設(shè)計(jì)了一種用于半導(dǎo)體芯片自動(dòng)化生產(chǎn)線中的搬運(yùn)氣動(dòng)機(jī)械手。該機(jī)械手實(shí)現(xiàn)芯片的抓取、釋放以及搬運(yùn)等4個(gè)自由度的動(dòng)作，結(jié)構(gòu)合理，動(dòng)作準(zhǔn)確迅速，安全可靠性高。采用日本三菱公司的FX2N系列PLC對(duì)機(jī)械手的上下、左右、回轉(zhuǎn)以及芯片吸取運(yùn)動(dòng)進(jìn)行自動(dòng)化控制。利用可編程技術(shù)結(jié)合相應(yīng)的硬件裝置控制機(jī)械手完成搬運(yùn)動(dòng)作，來(lái)配合和實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)上的要求。該氣動(dòng)機(jī)械手作為特定工位的搬運(yùn)機(jī)械手，能夠取代國(guó)外進(jìn)口的的多功能通用機(jī)械手，節(jié)約設(shè)備成本和維護(hù)成本80%以上，在自動(dòng)化生產(chǎn)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程中具有積極的意義。
本人在實(shí)習(xí)單位的工作中發(fā)現(xiàn)在自動(dòng)化生產(chǎn)線中為了便于實(shí)現(xiàn)柔性制造，大部分機(jī)械手都是6自由度通用機(jī)械手，它采用模塊化安裝，改變工位動(dòng)作時(shí)只需改變相應(yīng)程序即可。然而用通用機(jī)械手去執(zhí)行特定簡(jiǎn)單工位的動(dòng)作，是一種生產(chǎn)資源的浪費(fèi)。在當(dāng)今社會(huì)追求高效，節(jié)約的大環(huán)境下，本人結(jié)合工作實(shí)際設(shè)計(jì)了一款能滿足特殊工位使用的機(jī)械手。
關(guān)鍵詞：機(jī)械手；PLC；氣動(dòng)控制；
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