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激光反光鏡微調機構

一、工作原理
此微調機構用于激光干涉系統中，微調機構可以使反光鏡平穩的繞兩根相交軸線作微量轉動。其原理見示意圖：反光鏡鑲在座上，座由圈上的兩個頂針支頂著，座可以繞兩頂針軸線YY旋轉；而圈由套上的兩個頂針支頂著，圈則可以帶著座繞此兩頂針軸線ZZ旋轉。從原理上說，在此情況下反光鏡可以轉到空間任意角度，但微調機構只需要反光鏡在一定的空間角度中調節。具體如下。
反光鏡3鑲在反光鏡座2中，用壓圈7壓緊，彈簧4的主要作用防止把反光鏡壓碎。鏡座由固定在調節圈6上的兩只螺釘頂針支頂著（見俯視圖），鏡座可繞頂針軸線YY作一定角度的旋轉；此小角度的旋轉，由主視圖上的調節螺釘10來進行。當調節螺釘向下旋壓時，通過墊塊10（膠粘在鏡座尾巴上）使鏡座繞YY軸轉動，則反光鏡向上旋轉；當調節螺釘向上旋時，由于鏡座尾巴套在盤簧13中（見C-C），盤簧彈力使鏡座轉動，則反光鏡向下旋轉。調節圈6是由固定在外套1上的兩只螺釘頂針支頂著（見主視圖），調節圈可繞頂針軸線ZZ作一定范圍的角度旋轉；繞ZZ軸旋轉則由俯視圖上的調節螺釘進行，情況與上面類似。螺釘5和9起防松作用，螺釘12是用來固定盤簧的。 ...

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